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無塵室(潔淨室)是一個環境控制系統,其目的是確保工作區域內的空氣品質達到極高的潔淨度標準,並能夠有效地控制微粒、塵埃、微生物和其他污染物的水平。這項技術廣泛應用於高度敏感的產業,例如半導體製造、醫藥生產、生物科技研究等,其設計與建造需嚴格符合ISO 14644、PIC/S GMP等多種國際或行業標準。無塵室內的空氣經過多層過濾以去除微細粒子,確保空氣達到高度潔净的標準。此外,無塵室還要保持正壓,防止外部空氣滲入。控制室內的溫度和濕度也是無塵室運作的關鍵因素,以確保產品的品質。
為確保無塵室達到設計標準並能長期穩定運作,會依據相關規範進行多項嚴謹的檢測與確效作業,主要檢測項目包括:
上述檢測作業會在無塵室完工、備用及實際操作等不同階段進行,以確保其長期符合潔淨度與製程標準。
無塵室(潔淨室)是指架設一個低汙染水準、可受控制的環境,無論是空氣空調、乾濕度、溫度、水源、噪音振動、照明、靜電控制照明設備,都需嚴格符合無塵室指標;無塵室規劃設計需依著產業類別來規劃,精密科技產業製程需嚴格管理空氣灰塵,微生物,懸浮顆粒、人體皮屑,靜電以及環境的噪音、震動幅度等;食品產業需要控管空氣中的乾濕度,微生物懸浮。為確保長期潔淨度,無塵室面板應選用不產生靜電、完全不燃的材料,結構設計上需避免灰塵粒子積聚。同時,人員與物體進出管理(如空氣浴塵室、著無塵衣、傳遞箱)也是維持潔淨度的關鍵環節。
無塵室(潔淨室)的設計目的不僅在於將空氣中的污染微粒降至最低,還需要對微塵粒子的濃度進行嚴格控制。為實現這一目標,無塵室需要對室內的溫度、濕度、壓力等因素進行精密控制。因其對環境潔淨度的高要求,無塵室主要應用於半導體科技廠、生化技術研發廠、醫院研究室等對環境要求極高的行業。
在半導體、雷射工業和精密機械產業中,無塵室尤其重要,以防止產品受到微粒污染。這些無塵室對粒子濃度有著極為嚴格的要求,甚至有每立方英尺不超過1粒的特殊要求。而在醫療、藥品、食品等行業,無塵室的應用也很常見,儘管對潔淨度的要求沒有工業無塵室那麼高,但仍然需要對粒子濃度進行控制,通常要求每立方英尺不超過100粒。
無塵室的分級(Classification of air cleanliness)主要是根據空氣中的微粒濃度(particle concentration)來進行。在台灣,主要參考兩大標準:
美國聯邦標準209已於2001年廢止,ISO 14644現已成為台灣無塵室的主流標準。然而,由於FED命名法直觀易懂,台灣業界仍習慣使用該命名方式。了解FED標準對應的ISO等級即可掌握其含義。
ISO 14644標準共分十個部分,分級方式記載於第一部分。最新版為2015年發布,許多無塵室仍依據1999年版本運作。
| ISO 等級 | FED 等級 | 每立方英尺微粒濃度上限 |
|---|---|---|
| ISO 4 | Class 10 | ≤ 10 粒 |
| ISO 5 | Class 100 | ≤ 100 粒 |
| ISO 6 | Class 1,000 | ≤ 1,000 粒 |
| ISO 7 | Class 10,000 | ≤ 10,000 粒 |
| ISO 8 | Class 100,000 | ≤ 100,000 粒 |
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